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发布时间:2016年08月04日   
溅射薄膜压力敏感元件 分类:溅射薄膜压力敏感元件

详细介绍

应用范围:    

        GUANGFANYINGYONGYUQICHEZHIZAO、HANGKONG、HANGTIAN、JIAOTONG、GONGCHENGJIXIE、SHUILIDIANLI、CHUANBOZHIZAO、SHIYOUHUAGONG、FADIANJIZU、YEJINZHIZAO、YILIAOSHEBEI、SHIPINJIAGONGDENGQITAGEZHONGZIKONGHECELIANGXINGYE。

压力敏感元件采用溅射工艺,在压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上,以分子键合的方式制作出“微米”级的电阻膜。再经过微电子工艺制作出需要的惠斯登电桥,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和活动件,无需密封腔和充油腔,因此具有适用恶劣环境和长期稳定性工作的特点,

特点

*ZHANGQIWENDING                            *XINHAOXIANXINGHUA

排列5走势图带连线 *JUYOUWENDUNEIBUCHANG                      *XIAOXINGHUA(XINPIANZHIJING7mm)

排列5走势图带连线 *JUYOUYALIHEWENDUYITIHUASHUANGSHUCHU


  薄膜压力敏感元件焊接型:通过焊接(激光,电子束,微束等离子,微束亚弧焊)方式实现压力敏感元件与引压接头的连接。结构图:

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                                                                     HANJIEXING(W)

                                        内孔尺寸:5~20bar  4.5mm              35~2200bar   3.5mm

敏感元件:

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                       MINGANYUANJIANTU                                                                                       YINXIANSHIYITU

惠斯登电桥示意图:

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排列5走势图带连线 YINXIANFANGSHI:1、3WEIGONGDIANJILIYUAN(1:DI,3:DIANYUAN+)

          2、4WEIXINHAOSHUCHUDUAN

排列5走势图带连线          (1、5ZHIJIANWEICEWENDIANZU,ZUOWEINEIBUCHANGDIANZU)

HANDIANCAILIAO:XI/QIAN。KEZHIJIEYONGLUOTIEXIHAN(JIANYISHIYONGGAOWENHANXI)

排列5走势图带连线           NIE。SHIYONGCHAOSHENGYAHAN

技术参数:

YALILIANGCHENG(bar):5, 7, 10, 16, 20, 35, 70, 100, 160, 250, 400, 700,1000, 1600, 1800, 2200

YUNXUGUOFUZAI(% FS):200%(POHUAIYALI:10BEIMANLIANGCHENGYALI)

排列5走势图带连线 RELINGDIANPIAOYI(%FS℃):XIAOYU0.005

RELINGMINDUPIAOYI(%FS℃):XIAOYU0.005

ZHANGQIWENDINGXING (%FS/NIAN):XIAOYU±0.1

GONGZUOWENDUFANWEI(℃):-70℃~200℃(TESHUYAOQIUCONG-100℃~300℃)

QIAOBEIDIANZU(KΩ):3 KΩ~4 KΩ

JUEYUANDIANZU(MΩ):DAYU500

频率响应:大于10KHZ

灵敏度(mV/V)及非线性:

量程(bar

5

7

10

16

20

35

灵敏度(mV/V

0.99±0.25

1.27±0.25

1.21±0.2

1.24±0.2

1.30±0.2

1.67±0.2

较大非线性(% FS

0.4

0.35

0.20

0.15

0.15

0.15

量程(bar

70

100

160

250

400

700

灵敏度(mV/V

1.81±0.2

2.26±0.3

1.98±0.3

2.19±0.3

2.13±0.2

2.26±0.2

较大非线性(% FS

0.15

0.15

0.15

0.15

0.10

0.10

量程(bar

1000

1600

1800

2200

灵敏度(mV/V

1.33±0.25

1.40±0.25

1.08±0.2

1.32±0.15

较大非线性(% FS

0.05

0.05

0.05

0.05



 




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